間接焊接法
首先對藍寶石表面進行金屬化(即表面活化)處理,然后用釬料把金屬鍍層和金屬釬焊在一起。釬焊工藝中,陶瓷材料表面常用的金屬化方法有Mo-Mn法、化學鍍活化、離子鍍活化等。
Mo-Mn法的工藝過程為:將Mn O 2 與 Mo粉涂到陶瓷表面,在N 2 或H 2 氣氛中高溫燒結,表面形成玻璃相,同時部分金屬氧化物被還原,產生金屬表面層。藍寶石是眼掛慮單晶,不存在晶界,不含玻璃相,采用高溫活化Mo-Mn法可以實現其金屬化,并能夠獲得比較滿意的封接效果。但與95%氧化鋁陶瓷相比,其封接強度的穩(wěn)定性尚有較大差距。造成這一情況的原因之一是藍寶石材料本身對缺陷更加敏感,使實驗數據離散型較大。文獻采用 Mo-Mn法活化單晶寶石獲得了較好的金屬化層。專家采用 Mo-Mn法對95%氧化鋁陶瓷進行金屬化,并將其與Ni進行了連接,獲得了較高的結合強度。但是采用Mo-Mn法金屬化陶瓷耗時耗能,現在很少采用。
張永清等采用化學鍍的方法在氧化鋁陶瓷表面鍍Ni,然后采用Ag-Cu與Q235鋼進行釬焊,街頭的抗剪請阿杜達到了78 Mpa 。
離子鍍是指在真空條件下,利用氣體放電使工作氣體或被蒸發(fā)物質(鍍料)部分離化,在工作氣體離子或被蒸發(fā)物質的離子轟擊作用下,把蒸發(fā)物或其反應物沉積在被鍍物體表面的過程。離子鍍具有許多優(yōu)點,如溫度低,附著力好,沉積速度快,適用范圍廣、繞鍍性好等。文獻采用離子鍍的對藍寶石窗進行金屬化后,采用 Ti-Ag-Cu釬焊含藍寶石與無氧銅,氣密性良好。
朱勝等研究用了射頻濺射膜改善AIN陶瓷與金屬連接的方法:用射頻濺射將Ti、Al沉積到AIN表面,然后再真空爐中用Ag-19.5Cu-3Ti-5In釬焊連接AIN陶瓷(鍍Ti膜)-Cu和AIN(鍍AL)-Cu,所得試樣街頭的平均剪切強度分別為120 Mpa 和 127 Mpa ,比在相同條件下焊接未鍍膜的試樣所得街頭的平均剪切強度提高了約 30 Mpa 。
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